型號：Regulus8230
生產廠家：日立（中國）有限公司
啟用日期：2019.04
儀器簡介
1. SE分辨率：15LV：0.7nm（WD：4mm）；1KV：0.9nm（WD：1.5mm）；
2. SE顯示放大倍率：20-2000000倍（最大放大倍率不保證拍照清晰）；
3. SE:以15KV、270K倍率（WD：4mm）下拍攝的標樣為調試標準：設備調試現場拍攝結果與儀器自帶TEST REPORT結果一致；
4. SE:加速電壓：0.01-30KV；引出電流：0.01-30μA；配備減速模式（測試導電性不良樣品），可隨時開關；
5. SE:可觀察范圍：X：0-150mm；Y：0-150mm；R：0°-360°；
Z：1.5-40mm；T：0°-26°(HOME位置)；
6. SE:可接受SE、BSE圖像；具有三個二次電子探測器；可掃描模式：Rapid、Fast、Slow、CSS；最大存儲像素：5120×3480；
7. SE真空度：離子泵:10-8Pa；樣品艙:10-4Pa；
8. EDX：能量分辨率優于133eV；可測量元素范圍:Be4-Pu4;
9. EDX:配備能譜儀專業分析軟件和智能分析系統軟件，允許一鍵自動采集譜圖、標定峰值對應元素、各元素含量定量分析；
10. EDX:可進行點線面掃描以及對應的定量分析；可實現面分布3D瀏覽模式;
11. CL:可自動伸縮反光鏡，迅速讓SEM回到原始狀態；PMT成像，全色態過濾，波長過濾，快速大面積掃描;
12. CL：模塊化光學探測部件， 350-950nm光學組件和UV波段光學組件可隨時進行增減或更換;
13. CL：可測量角分辨陰極熒光譜；可生成指定的點或者線的可視化光譜，對多個點進行積分。
設備功能: 低、中、高倍率形貌觀察 ; 元素分析5B ~ 92U ; 晶體學分析。
附加配置: 能譜，陰極熒光系統，冷臺。
設備應用:
各種固體材料的高分辨形貌觀察、微區元素分析及晶體學分析（微織構、相鑒定等）。
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