型號:HS-65-AEM
生產廠家:中科院半導體研究所
啟用日期:2019.11
設備參數:
載流子濃度(/cm3):1E+7—1E+21
遷移率(cm2/V.s):1—1E+07
電阻率(?·cm): 1E-05—1E+08
樣品尺寸:10x10mm—5x5mm
電流輸出范圍:10pA—100mA
電流輸出精度:0.05%
電流測試范圍:10pA-20mA
電流測試分辨率:10pA
電流測試精度:0.1%
電壓測量精度:0.002%
電壓測量分辨率:100nV
電壓測量范圍:100mV-1000V
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